产品名称

2,4-戊二酮酸铪

CAS NO

17475-67-1

中文别名

乙酰丙酮铪;2,4-戊二酮酸铪;2,4-戊二酮酸铪,97%;乙酰丙酮铪(IV)

英文名称

Hafnium,tetrakis(2,4-pentanedionato-kO2,kO4)-,(SA-8-11''11''1'1'''1'1''')-

英文别名

Hafnium,tetrakis(2,4-pentanedionato)- (6CI,7CI,8CI); Hafnium,tetrakis(2,4-pentanedionato-O,O')-,(SA-8-11''11''1'1'''1'1''')-; Hafnium, tetrakis(2,4-pentanedionato-kO,kO')-,(SA-8-11''11''1'1'''1'1''')- (9CI); Hafnium acetylacetonate;Hafnium tetrakis(acetylacetonate);Tetrakis(acetylacetonato)hafnium

分子式

C₂₀H₂₈HfO₈

分子量

574.92

EINECS

237-861-9

熔点

193°C

沸点

82°C/.001mmHg

毒性

金属有机气相沉积（MOCVD）；原子层沉积（ALD）；