产品名称

四乙醇乙酰丙酮钽

CAS NO

20219-33-4

中文别名

四乙醇乙酰丙酮钽;四乙氧基乙酰丙酮钽;四乙醇乙酰丙酮钽(V), 99.99%, (METALS BASIS);四乙醇乙酰丙酮钽(V)

英文名称

Tantalum (V) tetraethoxide 2,4-pentanedionate

英文别名

TANTALUM(V) TETRAETHOXIDE 2,4-PENTANEDIONATE;TANTALUM V TETRAETHOXIDE PENTANEDIONATE;TANTALUM (V) TETRAETHOXYACETYLACETONATE;Tantalum(V)tetraethoxyacetylacetonate(99.99+%-Ta)PURATREM;Tantalum(V) tetraethoxide 2,4-pentanedionate, 99.99%, (metals basis)

分子式

C₁₃H₂₇O₆Ta

分子量

460.30

EINECS

熔点

45°C

沸点

95°C 0,5mm

毒性

金属有机气相沉积（MOCVD）；原子层沉积（ALD）；