- 产品名称
- 四乙氧基二甲胺乙氧基钽
- CAS NO
- 172901-22-3
- 中文别名
- 英文名称
- TANTALUM TETRAETHOXIDE DIMETHYLAMINOETHOXIDE
- 英文别名
- TANTALUM TETRAETHOXIDE DIMETHYLAMINOETHOXIDE;TANTALUM TETRAETHOXY DIMETHYLAMINO ETHOXIDE;Tantalum Tetraethoxydimethylaminoethoxide 99.99%
- 分子式
- C12H30NO5Ta
- 分子量
- 449.32
- EINECS
- 熔点
- 沸点
- >320°C 0,1mm
- 毒性
金属有机气相沉积(MOCVD);原子层沉积(ALD);