产品名称

四(乙氨基)钛

CAS NO

4419-47-0

中文别名

Titanium tetrakis(diethylamide)

英文名称

Ethanamine, N-ethyl-,titanium(4+) salt (4:1)

英文别名

Diethylamine,titanium(4+) salt (8CI); Ethanamine, N-ethyl-, titanium(4+) salt (9CI);Titanium, tetrakis(diethylamino)- (6CI,7CI); TDEAT;Tetrakis(diethylamido)titanium; Tetrakis(diethylamido)titanium(IV);Tetrakis(diethylamino)titanium; Titanium tetrakis(diethylamide); Titaniumtetrakis(diethylamine); Titanium(4+) diethylamide; Titanium(IV) diethylamide

分子式

C₄H₁₁N.1/4Ti

分子量

336.38

EINECS

熔点

4 °C

沸点

112 °C0.1 mm Hg(lit.)

毒性

主要的刺激性影响在皮肤上面：在皮肤和粘膜上造成腐蚀性影响，刺激皮肤和粘膜   在眼睛上面：强烈腐蚀性影响，刺激的影响   过敏作用：没有已知的敏化影响

金属有机气相沉积（MOCVD）；原子层沉积（ALD）；