产品名称

四叔丁基钛酸酯

CAS NO

3087-39-6

中文别名

Titanium (IV) tert-butoxide

英文名称

Tetra-tert-butyl orthotitanate

英文别名

Orthotitanicacidtetrakis-(tert-butyl)ester;Tetra-tert-Butyltitanate

分子式

C₁₆H₃₆O₄Ti

分子量

340.32

EINECS

221-412-9

熔点

沸点

70oC (2 mmHg) ,84.6oC at 760 mmHg

毒性

金属有机气相沉积（MOCVD）；原子层沉积（ALD）；