- 产品名称
- 全氟丁二烯
- CAS NO
- 685-63-2
- 中文别名
- 1,1,2,3,4,4-Hexafluorobuta-1,3-diene
- 英文名称
- Hexafluoro-1,3-butadiene
- 英文别名
- 1,3-Butadiene,hexafluoro- (6CI,7CI);1,1,2,3,4,4-Hexafluoro-1,3-butadiene;1,3-Butadiene,1,1,2,3,4,4-hexafluoro-;Perfluoro-1,3-butadiene;Sifren 46;
- 分子式
- C4F6
- 分子量
- 162.03
- EINECS
- 211-681-0
- 熔点
- -132 ºC
- 沸点
- 6-7°C
- 毒性
全氟丁二烯/C4F6
全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。
产品信息概括
项目
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说明
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化学名称
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全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯
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CAS号
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685-63-2
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ODP
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0
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GWP100年
|
290
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大气停留时间(天)
|
<1
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物化性质
属性
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值
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化学名称
|
全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯
|
化学式
|
CF2=CF-CF=CF2
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分子式
|
C4F6
|
分子量
|
162.03
|
沸点(℃)
|
6
|
凝固点(℃)
|
-130
|
临界温度(℃)
|
139.6
|
临界压力(bar)
|
31.9
|
液体密度(15℃,kg/l)
|
1.44
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蒸汽密度(kg/m3,@15℃)
|
6.8
|
蒸汽压(25℃,bar)
|
2.11
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汽化潜热(熔点时,1.013bar情况下,kJ/kg)
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161.8
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空气中的可燃范围(%vol)
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7-73
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- 公司规模
- 150-1000人
- 认证信息
-
洛克
- 公司类型
- 贸易商
- 所在地区
- 上海市 上海
- 联系人
- 王
- 电 话
- 021-62456266
- QQ
- 2419067899
- 地 址
- 上海市长宁区仙霞路319号远东国际广场A座2603