产品名称

三(叔-丁氧基)硅烷醇

CAS NO

18166-43-3

中文别名

(CH3)3CO)3SiOH

英文名称

Silicic acid (H4SiO4),tris(1,1-dimethylethyl) ester

英文别名

Silicicacid (H4SiO4), tri-tert-butyl ester (8CI); NSC 243646;Tri(tert-butyloxy)silanol; Tri-tert-butoxysilanol; Tri-tert-butyl silicate;Tris(tert-butoxy)silanol

分子式

C₁₂H₂₈O₄Si

分子量

264.43

EINECS

熔点

63-65 °C(lit.)

沸点

205-210 °C(lit.)

毒性

CAS:18166-43-3Beilstein: 分子式:((CH3)3CO)3SiOH分子量: 264.43 别名:TBS贮存:充氩保存用途:三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气（Hf(N(CH3)2)4）反应，用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积（ALD）。 联合国号: