电子级 PGMEA（丙二醇甲醚醋酸酯）产品说明书
全称：Propylene Glycol Methyl Ether Acetate，简称 PGMEA/PMA CAS：108-65-6｜分子式：\(\boldsymbol{C_6H_{12}O_3}\)｜分子量：132.16 执行标准：T/CIESC 59-2023、SEMI G1/G4/G5（半导体分级）
PGMEA桶装成品
一、基础理化参数
表格
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项目
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指标参数
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外观
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无色透明澄清液体，无悬浮物、机械杂质
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气味
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轻微淡酯味，无刺激性异味
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相对密度 (20℃)
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0.995～0.997 g/cm³
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沸点
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145～146℃
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闭杯闪点
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42℃（易燃液体，UN3272）
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凝固点
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-70℃
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20℃蒸气压
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1.3 mmHg，挥发速率适中
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水溶性
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2.5wt%（20℃），与醇、酮、酯、芳烃全混溶
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KB 溶解值
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≈85，极性 / 非极性树脂全能溶解
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二、电子级分级与关键质量指标（核心区分工业级）
1、TFT 显示级（G1/G2，LCD/OLED 光刻）
- PGMEA 纯度：≥99.50%
- 水分：≤50 ppm
- 游离酸（以乙酸计）：≤10 ppm
- 单项金属离子 (Na/K/Fe/Ca/Mg 等)：≤10 ppb
- 颗粒物 (≥0.5μm)：≤100 个 /mL
2、半导体 SEMI G4 级（8 寸 / 12 寸晶圆、KrF 光刻胶主流）
- 主含量≥99.95%
- 水分≤10 ppm
- 单项金属离子≤1 ppb，总金属＜3 ppb
- 氯离子≤50 ppb，游离醇（PGME）≤200 ppm
- 颗粒≥0.2μm＜20 个 /mL
3、超高纯 SEMI G5/G6（先进制程 7nm 及以下、ArF 光刻）
- 纯度≥99.99%
- 单金属离子＜0.1 ppb（ppt 级别可控）
- 水分≤5 ppm，超低微量有机杂质
三、产品特性
- 溶解均衡：分子含醚键 + 酯基，兼顾极性 / 非极性，完美溶解光刻胶丙烯酸树脂、光敏剂、环氧树脂、聚氨酯；
- 挥发可控：中慢速挥发，前烘成膜均匀，无针孔、缩边、咖啡环缺陷，适配光刻涂布工艺；
- 低离子污染：经多级精馏 + 离子交换 + 超净过滤，金属杂质 ppb 级，杜绝晶圆漏电、栅氧击穿、芯片良率下降；
- 低毒环保：替代乙二醇醚、苯系溶剂，低 VOC，符合电子环保管控；化学稳定性好，常温不易水解、变色。
四、主要应用领域
- 半导体 IC KrF/ArF 光刻胶主溶剂、光刻胶稀释液、显影配套溶剂、晶圆湿法去胶清洗剂、刻蚀后有机残渣剥离液、先进封装清洗液（Fan-out/2.5D）；
- FPD 面板 TFT-LCD、OLED 彩色光阻 / 黑矩阵光刻稀释剂、面板制程剥离液、Array 段清洗溶剂；
- 配套电子材料 PCB 感光油墨溶剂、电子环氧封装胶稀释剂、光学涂层溶剂、电子精密零部件超净清洗液。
五、包装与储存
- 包装规格
- 工业吨桶 / 200L 镀锌铁桶（常规电子级）；
- 高纯 G4/G5：洁净不锈钢桶、PFA 小口桶、无尘 IBC 吨桶，氮气密封充装，超净灌装车间生产；
- 储运要求
- 储存：阴凉通风库房，远离明火、热源，严禁与强氧化剂混存；
- 运输：三类易燃液体，危化 UN3272 运输，密封防吸水（极易吸湿涨水分）。
六、安全简要说明
- 易燃，蒸气可形成爆炸混合气，作业区强制防爆通风；
- 皮肤接触清水冲洗，大量吸入转移至新鲜空气；
- MSDS 可按需提供。
