电子级 PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)产品说明书
全称:Propylene Glycol Methyl Ether Acetate,简称 PGMEA/PMA CAS:108-65-6|分子式:\(\boldsymbol{C_6H_{12}O_3}\)|分子量:132.16 执行标准:T/CIESC 59-2023、SEMI G1/G4/G5(半导体分级)


PGMEA桶装成品
一、基础理化参数
表格
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项目
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指标参数
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外观
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无色透明澄清液体,无悬浮物、机械杂质
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气味
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轻微淡酯味,无刺激性异味
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相对密度 (20℃)
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0.995~0.997 g/cm³
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沸点
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145~146℃
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闭杯闪点
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42℃(易燃液体,UN3272)
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凝固点
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-70℃
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20℃蒸气压
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1.3 mmHg,挥发速率适中
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水溶性
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2.5wt%(20℃),与醇、酮、酯、芳烃全混溶
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KB 溶解值
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≈85,极性 / 非极性树脂全能溶解
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二、电子级分级与关键质量指标(核心区分工业级)
1、TFT 显示级(G1/G2,LCD/OLED 光刻)
- PGMEA 纯度:≥99.50%
- 水分:≤50 ppm
- 游离酸(以乙酸计):≤10 ppm
- 单项金属离子 (Na/K/Fe/Ca/Mg 等):≤10 ppb
- 颗粒物 (≥0.5μm):≤100 个 /mL
2、半导体 SEMI G4 级(8 寸 / 12 寸晶圆、KrF 光刻胶主流)
- 主含量≥99.95%
- 水分≤10 ppm
- 单项金属离子≤1 ppb,总金属<3 ppb
- 氯离子≤50 ppb,游离醇(PGME)≤200 ppm
- 颗粒≥0.2μm<20 个 /mL
3、超高纯 SEMI G5/G6(先进制程 7nm 及以下、ArF 光刻)
- 纯度≥99.99%
- 单金属离子<0.1 ppb(ppt 级别可控)
- 水分≤5 ppm,超低微量有机杂质
三、产品特性
- 溶解均衡:分子含醚键 + 酯基,兼顾极性 / 非极性,完美溶解光刻胶丙烯酸树脂、光敏剂、环氧树脂、聚氨酯;
- 挥发可控:中慢速挥发,前烘成膜均匀,无针孔、缩边、咖啡环缺陷,适配光刻涂布工艺;
- 低离子污染:经多级精馏 + 离子交换 + 超净过滤,金属杂质 ppb 级,杜绝晶圆漏电、栅氧击穿、芯片良率下降;
- 低毒环保:替代乙二醇醚、苯系溶剂,低 VOC,符合电子环保管控;化学稳定性好,常温不易水解、变色。
四、主要应用领域
- 半导体 IC KrF/ArF 光刻胶主溶剂、光刻胶稀释液、显影配套溶剂、晶圆湿法去胶清洗剂、刻蚀后有机残渣剥离液、先进封装清洗液(Fan-out/2.5D);
- FPD 面板 TFT-LCD、OLED 彩色光阻 / 黑矩阵光刻稀释剂、面板制程剥离液、Array 段清洗溶剂;
- 配套电子材料 PCB 感光油墨溶剂、电子环氧封装胶稀释剂、光学涂层溶剂、电子精密零部件超净清洗液。
五、包装与储存
- 包装规格
- 工业吨桶 / 200L 镀锌铁桶(常规电子级);
- 高纯 G4/G5:洁净不锈钢桶、PFA 小口桶、无尘 IBC 吨桶,氮气密封充装,超净灌装车间生产;
- 储运要求
- 储存:阴凉通风库房,远离明火、热源,严禁与强氧化剂混存;
- 运输:三类易燃液体,危化 UN3272 运输,密封防吸水(极易吸湿涨水分)。
六、安全简要说明
- 易燃,蒸气可形成爆炸混合气,作业区强制防爆通风;
- 皮肤接触清水冲洗,大量吸入转移至新鲜空气;
- MSDS 可按需提供。