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氧化锡/氧化铟锡蚀刻剂TE—100

说明

氧化锡/氧化铟锡蚀刻剂TE—100是微电子产品氧化锡和氧化铟锡（ITO）膜层的选择蚀刻剂。它能有效地蚀刻沉积在陶瓷、介电质、半导体和许多金属上的ITO和氧化锡膜。TE—100蚀刻线清晰、蚀刻速率可控。与阴性和阳性光刻胶具有广泛的匹配性。TE—100与镍、铜、镍铬和铝不匹配。

性质

应用

氧化铟锡膜在制备时，最好先沉积一层铟—锡膜。然后将铟-—锡膜用氧等离子体氧化，或在较高温度下在一个氧化氛中氧化。当进行蚀刻时，铟以三价水络合物[In(H₂O)₆]³⁺的形式溶解，而锡则生成[SnCl₆]^2－阴离子。