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NPD阴性光刻胶显影剂
说明
Transene
NPD阴性光刻胶显影剂是能使暴光的阴性光刻胶显影的高纯净有机溶液。
提供多种专利溶剂显影液用于不同光刻胶的显影。它们分别与所使用的光刻胶相匹配。这些显影剂是根据具体工艺条件所要求的酸度大小进行选择的。所有阴性光刻胶显影化学药品都以工作溶液的形式出售。
性质
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产品
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二甲苯 : 斯托达德溶剂（Stoddard）
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NPD 4001
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NA
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NPD 4030
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100:0
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NPD 4032
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--
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NPD 4033
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1:2
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NPD 4040
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NA
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NPD 4050
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1:1
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PKPⅡ型显影剂
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NA
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显影
在显影过程中，根据显示图象情况可用显影液采用冲洗，喷液或浸泡等形式将未暴光的光刻胶除去，并同时保护好基体。为了得到极高的细线分辨率，建议用喷液显影方法。对于要求不甚严格的图案，如线宽和间距大于7μ，同时又采用机械法或通氮气发泡时可采用浸泡法显影。下表给出用喷液和浸泡法显影所需用的时间：
